Mae'r system gyfan yn ei hanfod yn system cydbwysedd nwy deinamig.
Ar y pwynt hwn: canlyniad yn unig yw lefel y gwactod,
tra bod y cyflymder pwmpio yn pennu: gallu'r system i drin y newidiadau nwy hyn.
Mae'r rhai sy'n gweithio mewn PVD bron bob amser yn rhoi sylw arbennig i un rhif: lefel gwactod.
A all yr offer gyflawni:
10⁻³ Pa 10⁻⁴ Pa Gwactod eithaf isaf? Yn aml, mae pobl yn tybio:
po uchaf yw lefel y gwactod, y mwyaf sefydlog yw'r broses.
Fodd bynnag, ar ôl gweithio yn y maes am amser hir, fe welwch ffenomen wrthreddfol iawn:
Mae gan rai offer ddarlleniadau gwactod pen draw rhagorol a phwysau sefydlog, ond mewn cynhyrchiad gwirioneddol, mae materion megis amrywiadau rhyddhau, cannu ffilm, cynnwys ocsigen annormal, a gostyngiad graddol mewn cynnyrch yn dal i ddigwydd. I'r gwrthwyneb, efallai na fydd gan rai offer fanylebau gwactod arbennig o drawiadol, ond mae ei brosesau'n parhau'n gyson sefydlog.
Nid y broblem yn aml yw:
"A yw'r gwactod yn ddigon isel?"
Ond yn hytrach: A ellir tynnu'r nwy mewn pryd?
Yr allwedd go iawn y tu ôl i hyn mewn gwirionedd yw: Y cyflymder pwmpio.
Mae dealltwriaeth llawer o bobl o systemau gwactod wedi'i chyfyngu i:
"Faint o nwy sydd ar ôl yn y ceudod?"
Fodd bynnag, nid yw cynhyrchu PVD yn broses statig.
Yn ystod y cotio, mae'r prosesau canlynol yn digwydd yn gyson o fewn y system:
Menu workpiece; awyrellu ceudod; deunydd targed yn rhyddhau nwy arsugnedig; prosesu nwy yn mynd i mewn yn barhaus.
Mae'r system gyfan yn ei hanfod yn system cydbwysedd nwy deinamig.
Ar y pwynt hwn: canlyniad yn unig yw lefel y gwactod,
tra bod y cyflymder pwmpio yn pennu: gallu'r system i drin y newidiadau nwy hyn.
Pam mae haenau ffilm mor wahanol o dan yr un pwysau?
Dyma un o'r agweddau anoddaf i'w ddeall mewn llawer o weithrediadau maes.
Er enghraifft: dangosodd y ddau ddyfais 0.5 Pa, ac roedd y paramedrau'n debyg. Canlyniad: Cynhyrchodd un ddyfais ffilm sefydlog, tra bod y llall yn profi problemau parhaus.
Y rheswm yw:
Gall mesurydd pwysau ddweud wrthych yn unig:
"Beth yw cyfanswm y pwysau?"
Ond ni fydd yn dweud wrthych:
Pa fath o nwy sydd y tu mewn? Faint o anwedd dŵr sydd yna? Faint o ocsigen sydd ar ôl? A oes crynhoad nwy mewn rhai ardaloedd?
Hynny yw:
Efallai y bydd gan ddwy system gyda'r un pwysau amgylcheddau mewnol cwbl wahanol.
Mae'r cyflymder echdynnu mewn gwirionedd yn effeithio ar y tri pheth hyn:
1. A ellir tynnu llygryddion mewn modd amserol.
Nid yw llawer o broblemau pilen oherwydd:
"Halogiad sydyn."
Ond yn hytrach oherwydd: Mae halogion wedi bod yn cronni'n araf.
Er enghraifft: Anwedd dŵr, Cyfansoddion organig anweddol, Ocsigen gweddilliol
Os yw'r cyflymder pwmpio yn annigonol: Bydd y nwyon hyn yn aros yn y ceudod am amser hir.
Mae hyn yn y pen draw yn arwain at: rhyddhau cynyddol ansefydlog, mwy o gynnwys ocsigen yn yr haen ffilm, a llai o adlyniad. Mae llawer o bobl yn gweld:
"Nid yw'r paramedrau wedi newid, ond mae'r canlyniadau wedi gwaethygu."
Mewn gwirionedd: Mae'r amgylchedd ceudod wedi newid yn raddol.
2. A fydd nwyon adweithiol yn cronni'n lleol?
Mae'r broblem hon yn arbennig o amlwg mewn sputtering adweithiol.
Er enghraifft, wrth greu ffilmiau ocsid:
Os yw cyflymder y pwmp yn annigonol,
fe welwch fod:
mae'r targed yn hynod dueddol o gael ei wenwyno.
Ymateb cyntaf llawer o bobl yw:
Mae'r llif ocsigen yn rhy uchel.
Ond efallai mai’r realiti yw:
Nid yw'r ocsigen yn cael ei gludo i ffwrdd mewn pryd.
Mae'n parhau yn yr ardal o flaen y targed.
Mae'r crynodiad ocsigen lleol yn cynyddu o hyd.
Yn olaf:
Mae'r wyneb targed yn dod yn gwbl anghytbwys.
3. A yw'r amgylchedd rhyddhau yn sefydlog?
Mae llawer o bobl yn anwybyddu un pwynt:
Mae plasma mewn gwirionedd yn sensitif iawn i'r amgylchedd.
os:
Mae'r nwy gweddilliol yn newid yn gyson, mae'r crynodiad anwedd dŵr yn amrywio, ac mae awyrgylch y siambr yn ansefydlog.
Bydd y cyflwr rhyddhau yn drifftio'n araf.
Mae'n amlygu ei hun fel:
Foltedd yn dechrau newid, tanio yn cynyddu, ffenestr broses yn mynd yn gulach ac yn gulach
Pam mae siambrau mawr yn fwy agored i broblemau?
Mae llawer o ddarnau mawr o offer yn dod ar draws sefyllfa lle: mae'r ffigurau gwactod yn dda,
ond mae'r broses yn ansefydlog.
Y rheswm yw: Nid yr her fwyaf gyda siambrau mawr yw "cyflawni gwactod isel."
Mae'n: cynnal gwactod cyson drwy'r siambr gyfan.
Oherwydd gyda siambr fawr: Mae amser trosiant nwy yn hirach; parthau marw yn fwy lluosog; ac mae marweidd-dra lleol yn fwy amlwg.
Weithiau: Mae ardal y mesurydd pwysau yn sefydlog iawn, ond mae'r awyrgylch mewn rhai ardaloedd yn hollol wahanol.
Perygl arbennig o hawdd i ddisgyn iddo: Uwchraddio'r pwmp gwactod yn unig.
Bydd llawer o bobl, pan fyddant yn wynebu problem, yn:
Amnewid gyda phwmp mwy
Cynyddu'r gwactod eithaf
Ond darganfyddwch yn y pen draw:
Nid yw'r effaith yn arwyddocaol.
Oherwydd nid dim ond y pwmp ei hun yw'r hyn sy'n pennu'r cyflymder pwmpio effeithiol.
Sut mae peirianwyr gwirioneddol brofiadol yn gweld systemau gwactod?
Nid yw eu ffocws bellach ar:
msgstr "Y dyfnder gwacáu lleiaf."
Yn hytrach, maent yn canolbwyntio ar:
"Pa mor gyflym yw'r gyfradd cyfnewid nwy? A ellir cael gwared ar halogion yn brydlon? A fydd amgylchedd y siambr yn drifftio'n barhaus? A yw'r amodau gollwng yn sefydlog dros y tymor hir?"
Oherwydd nad yw system gwactod PVD, yn ei hanfod, yn:
"Tynnu'r holl awyr."
Mae'n ymwneud â:
"Cynnal amgylchedd proses sefydlog, rheoladwy, sy'n esblygu'n gyson yn barhaus."
