Mewn llawer o brosiectau PVD, deuir ar draws problem nodweddiadol iawn yn aml:
Ar yr un workpiece, mae rhai ardaloedd yn drwchus iawn, tra bod eraill yn denau iawn, weithiau gyda gwahaniaethau amlwg iawn.
Ymateb cyntaf llawer o bobl yw: A oes problem gyda'r ffrâm cylchdroi? A yw'r cylchdro yn anwastad?
Felly maen nhw'n dechrau: Gwirio'r modur, addasu'r cyflymder, gwneud y gorau o'r gosodiad.
Ond y canlyniad yn aml yw: Gwelliant cyfyngedig, neu hyd yn oed dim newid o gwbl.
Mae hyn yn dangos pwynt allweddol:
Nid yw trwch anwastad yn "broblem cylchdroi," ond hefyd yn "broblem dosbarthu plasma."
Yn gyntaf, y casgliad: Mae hwn yn "broblem dosbarthiad gofodol."
Yn y bôn, mae trwch y ffilm yn dibynnu ar: y fflwcs atomig sy'n cyrraedd yr wyneb fesul uned amser.
Ac mae'r fflwcs hwn yn aml yn: ofodol anffurf.
Mewn geiriau eraill: mae'r "llif deunydd" a dderbynnir gan y darn gwaith yn amrywio mewn gwahanol leoliadau.
Yn ail. Beth yn union y mae cylchdroi yn ei ddatrys?
Mae dealltwriaeth llawer o bobl o gylchdroi fel a ganlyn:
"Gwneud haen y ffilm yn gyfartal"
Ond dealltwriaeth fwy cywir yw:
Mae cylchdroi yn "gyfartaledd anwastad" yn hytrach na'i ddileu.
Am enghraifft syml: Os yw'r dosbarthiad plasma yn: cryf ar un ochr, yn wan ar un ochr, ar ôl cylchdroi: Bydd y darn gwaith yn mynd trwy'r rhanbarthau cryf a gwan o bryd i'w gilydd. Y canlyniad: Ceir "gwerth cyfartalog".
Ond y rhagosodiad yw:
Ni all y gwahaniaeth fod yn rhy fawr
Os yw'r gwahaniaeth yn rhy fawr:
Ni waeth faint rydych chi'n ei droi, ni fydd byth yn hollol gyfartal.
Trydydd. Pryd mae'r "broblem cylchdroi"?
Nodwedd 1: Mae trwch yn newid o bryd i'w gilydd
Er enghraifft:
Mae'r trwch yn newid yn rheolaidd gyda phob chwyldro
Nodwedd 2: Cysondeb gwael ymhlith gwahanol weithfannau; rhai yn dda, rhai yn ddrwg.
Nodwedd 3: Gwelliant sylweddol mewn addasu cyflymder.
Achosion cyffredin: Cyflymder cylchdroi ansefydlog; Eccentricity cylchdro; Lleoliad gweithle anghymesur.
Casgliad: Y mater craidd mewn problemau cylchdroi yw "dosbarthiad amser anwastad".
Forth. Pryd mae'n "broblem plasma"? (Mwy cyffredin)
Nodweddiadol 1: Bob amser yn drwchus i gyfeiriad penodol
Ni waeth sut mae'n cylchdroi, mae'r rhanbarth hwn bob amser yn fwy trwchus.
Nodwedd 2: "gwrthbwyso gofodol" cyffredinol
Er enghraifft: Mae'r ochr sy'n agosach at y targed yn fwy trwchus, tra bod yr ochr sydd ymhellach i ffwrdd yn deneuach.
Nodwedd 3: Mae pob darn gwaith yn arddangos patrymau tebyg.
Achosion cyffredin:
1. Dosbarthiad maes magnetig anwastad; Erydiad targed anwastad; Dwysedd plasma anwastad
2. Dylanwad strwythur ceudod: Rhwystr, Myfyrio
3. Ymyrraeth aml-darged: Arosodiad anwastad rhwng gwahanol dargedau.
4. dylunio sefyllfa workpiece afresymol
Casgliad:
Craidd y broblem plasma yw "ffynhonnell ofodol anwastad"
Pumed. Camsyniad Allweddol
Mae llawer o bobl, wrth wynebu anwastadrwydd,
eu hymateb cyntaf yw addasu'r cylchdro. Ond mewn gwirionedd: Gall cylchdroi ddim ond lleddfu'r broblem, nid ei gwella.
Os mai anhomogenedd plasma difrifol yw'r achos sylfaenol, yna ateb dros dro yn unig yw cynyddu'r cyflymder cylchdroi.
Chweched. Sut i benderfynu ar y math o broblem yn gyflym?
Dyma ddull ymarferol:
Dull 1: Trwsiwch y darn gwaith (heb gylchdroi)
Arsylwi: Dosbarthiad trwch ffilm
Os ar hyn o bryd: Mae'r dosbarthiad eisoes yn anwastad iawn; Casgliad: Problem plasma.
Dull 2: Newid y cyflymder cylchdro
Os:
Newid mewn cyflymder cylchdro → Newid sylweddol mewn unffurfiaeth
Casgliad: Problem cylchdro
Dull 3: Newid lleoliad y workpiece
Os: Newid safle → Newid mewn dosbarthiad
Casgliad: Problem dosbarthiad gofodol
Seithfed. Strategaethau Optimeiddio Gwir Effeithiol
1. Blaenoriaethu Cyfeiriad "Dosbarthiad Gofodol"
Optimeiddio safle targed; addasu maes magnetig; gwella strwythur ceudod
2. Optimeiddio ymhellach y Strategaeth Cylchdroi
Cyflymder Cylchdro
Trywydd Cylchdro
Modd Osgiliad
3. Optimeiddio lleoliad workpiece: Osgoi rhwystr a gwella cymesuredd.
4. Dyluniad cydweithredol aml-darged: Galluogi gwahanol dargedau i ffurfio "arosodiad unffurf".
Wythfed. Uwchraddiad Gwybyddol Allweddol
Mae llawer o bobl yn deall y broblem fel:
"Mae strwythur bilen anwastad yn broblem fecanyddol."
Ond dealltwriaeth fwy sylfaenol yw:
Mae hon yn broblem o "gludiant màs anwastad."
Mewn geiriau eraill, mae llwybr y deunydd o'r targed i'r darn gwaith yn anffurf yn ofodol.
Nawfed. Crynodeb Terfynol
A yw gwahaniaeth trwch mawr ar yr un darn gwaith yn fater sy'n gysylltiedig â chylchdro neu plasma?
Yr ateb yw:
Gallai fod yn fater cylchdro, ond yn amlach mae'n fater dosbarthu plasma. Y gwahaniaeth allweddol yw:
Materion cylchdro → anwastadrwydd amser; Problemau cysylltiedig â plasma → anwastadrwydd gofodol.
