Egwyddor Weithredol Mesurydd Gwactod mewn Peiriant Cotio PVD

Jan 16, 2026

Gadewch neges

PVD coating machine vacuum technology

 

 

Mae mesurydd gwactod ionization yn elfen graidd ar gyfer mesur gwactod uchel. Mae'n pennu lefel y gwactod trwy ïoneiddio moleciwlau nwy a mesur y llif ïon sy'n deillio o hynny. Yn seiliedig ar y gwahanol ddulliau ionization, caiff ei rannu'n bennaf i'r ddau gategori canlynol:

 

Un. Mesurydd gwactod ionization cathod poeth

Egwyddor Weithredol: Mae ffilament wedi'i gynhesu (catod) yn allyrru electronau thermionig. Mae'r electronau hyn yn ennill digon o egni wrth iddynt hedfan tuag at y grid anod, gan wrthdaro â moleciwlau nwy a'u ïoneiddio. Mae'r cerrynt ïon canlyniadol yn cael ei fesur yn yr electrod casglu; mae'r cerrynt hwn yn gymesur â'r pwysedd nwy.

 

Manteision:Mesur cywir, sefydlogrwydd da, a llinoledd rhagorol; dyma'r dewis prif ffrwd ar gyfer mesuriadau gwactod uchel.

Anfanteision:

Effaith pelydr-X: Mae electronau sy'n taro'r grid anod yn cynhyrchu pelydrau X meddal, sy'n arbelydru'r electrod casglwr, gan sbarduno allyriadau ffotoelectron a chreu gwasgedd "cerrynt cefndirol" annibynnol. Mae hyn yn achosi i bwysau a fesurwyd wyro oddi wrth y pwysau gwirioneddol o dan wactod tra - (tua<10⁻⁸ Pa).

Tynnu cemegol: Mae tymheredd uchel y ffilament yn achosi moleciwlau nwy adweithiol (fel ocsigen) i ddatgysylltu a chael ei arsugniad, gan greu "effaith gwactod" sy'n effeithio ar y pwysau gwirioneddol.

Filament burnout risk: Under higher pressures (e.g., >10⁻² Pa) neu amlygiad sydyn i'r atmosffer, mae'r ffilament gwynias yn dueddol o ocsideiddio a llosgi.

 

Dau. Mesurydd gwactod ionization oer cathod

Egwyddor Weithredol: Defnyddio maes trydan foltedd uchel i achosi gollyngiad mewn gwactod (mae'r catod oer heb ei gynhesu), a gosod maes magnetig allanol. Mae electronau, o dan ddylanwad cyfunol y meysydd trydan a magnetig (grym Lorentz), yn cael mudiant helical, gan gynyddu'n fawr y tebygolrwydd o ïoneiddiad trwy wrthdrawiadau â moleciwlau nwy, gan ffurfio hunan-cynnal gollyngiad plasma. Mae'r llif ïon yn gymesur â'r pwysau.

 

Manteision:Strwythur cadarn, dim ffilament poeth, gwrthsefyll effaith atmosfferig, oes hir.

Dim cyfyngiad cerrynt cefndir pelydr X-, sy'n caniatáu ar gyfer mesur lefelau gwactod uwch (yn nodweddiadol tua 10⁻¹² Pa).

Anfanteision:
Sefydlogrwydd Rhyddhau: Gall rhyddhau fod yn ansefydlog ar bwysau isel, hyd yn oed yn arddangos ffenomenau "oedi rhyddhau" neu "fflamio".

Sensitifrwydd i Halogi: Gall halogiad arwyneb y catod effeithio'n ddifrifol ar allyriadau electronau, gan arwain at fesuriadau anghywir.

Ymyrraeth Maes Magnetig Cryf: Gall maes magnetig cryf y mesurydd gwactod ei hun ymyrryd â'r offer cyfagos (fel ffynonellau ïon); mae angen ystyried lleoliad gosod yn ofalus.

Anfon ymchwiliad
Cysylltwch â niOs oes gennych unrhyw gwestiwn

Gallwch naill ai gysylltu â ni dros y ffôn, e -bost neu ffurflen ar -lein isod. Bydd ein harbenigwr yn cysylltu â chi yn ôl yn fuan.

Cyswllt nawr!