Defnyddir offer cotio gwactod anweddiad trawst electron yn gyffredin ar gyfer adneuo haenau AR / AF, gan gynnwys ffilmiau caled, ffilmiau addurniadol, ffilmiau ITO, hidlwyr pas band, a ffilmiau AD. Mae ganddo fanteision megis effeithlonrwydd uchel, gallu cynhyrchu cryfach, a chostau cynhyrchu is. Ar gyfer ffilmiau AR (trosglwyddedd gwydr swbstrad > 91.5%), yn y band tonfedd 420-680nm, trawsyriant cyfartalog unochrog > 95% ac adlewyrchiad < 0.5% (cyfartaledd). Trawsyriant cyfartalog dwy ochr > 98% ac adlewyrchiad < 0.5% (cyfartaledd). Mae ganddo gymwysiadau marchnad eang.
Mae technoleg cotio anweddiad gwactod yn golygu gosod y deunydd anweddu mewn crucible dur wedi'i oeri â dŵr a'i gynhesu'n uniongyrchol â thrawst electron. Mae'r deunydd anweddu yn anweddu ac yna'n cyddwyso ar wyneb y swbstrad i ffurfio ffilm. Mae hwn yn ddull gwresogi pwysig ac yn duedd ddatblygol mewn technoleg cotio anweddiad gwactod. Mae anweddiad pelydr electron yn goresgyn llawer o anfanteision anweddiad gwresogi gwrthiant confensiynol ac mae'n arbennig o addas ar gyfer ffugio deunyddiau ffilm tenau purdeb uchel -pwynt toddi ac uchel.
Gellir dosbarthu technoleg anweddiad gwactod, sy'n dibynnu ar anweddiad pelediad trawst electron, ymhellach yn sawl math yn seiliedig ar ffurf ffynhonnell anweddiad trawst electron, gan gynnwys gynnau cylch, gynnau syth, gynnau math E, a gynnau electron catod gwag.
Mae gwn cylch yn allyrru pelydr electron o -gatod siâp cylch. Ar ôl cael ei ffocysu a'i gwyro, mae'r trawst yn taro crucible, gan achosi'r metel i anweddu. Mae ei strwythur yn gymharol syml, ond mae ei bŵer a'i effeithlonrwydd yn isel, gan ei gwneud yn ddyfais labordy yn bennaf; ni chaiff ei ddefnyddio mwyach mewn cyfleusterau cynhyrchu.
Mae gwn syth yn gyflymydd llinellol axisymmetric lle mae electronau'n cael eu hallyrru o'r catod ffilament, wedi'u ffocysu i mewn i belydr mân, wedi'i gyflymu gan yr anod, ac yna'n taro crucible, yn toddi ac yn anweddu'r deunydd cotio. Mae gynnau syth yn amrywio mewn pŵer o gannoedd o wat i gannoedd o gilowat; defnyddir rhai ar gyfer anweddiad gwactod, tra bod eraill yn cael eu defnyddio ar gyfer mwyndoddi gwactod. Anfanteision gynnau syth yw y gall y deunydd anweddedig halogi strwythur y gwn, gan achosi ansefydlogrwydd gweithredol. Yn ogystal, gall ïonau sodiwm sy'n dianc o'r ffilament hefyd halogi'r cotio. Yn ddiweddar, datblygodd cwmni o Orllewin yr Almaen fersiwn well o'r gwn syth trwy ychwanegu maes magnetig gwyrol wrth allanfa'r pelydr electron ac ymgorffori system wacáu annibynnol yn y ffilament. Mae hyn nid yn unig yn dileu halogiad ffilament y cotio yn llwyr ond hefyd yn gwella hyd oes y gwn.
Mae'r gwn electron e-fath, gyda gwyriad 270-gradd, yn goresgyn diffygion anweddiad electronau gwn syth ac mae'n un o'r ffynonellau anweddiad pelydr electron a ddefnyddir amlaf. Gall y gwn electron math e{5}} gynhyrchu dwyseddau pŵer uchel, toddi metelau pwynt toddi uchel, a chynhyrchu gronynnau anweddiad ynni uchel, gan arwain at gysylltiad cryf rhwng y ffilm a'r swbstrad ac ansawdd ffilm da. Yr anfanteision yw bod angen gwactod uchel a foltedd uchel negyddol ar y gwn electron, sy'n arwain at strwythur offer cymhleth, diogelwch gwael, anhawster cynnal a chadw, a chost uchel.
Mae'r gwn electron catod gwag yn defnyddio pelydr electron plasma a gynhyrchir gan ollyngiad catod gwag cyfredol foltedd isel, uchel fel ei ffynhonnell wresogi. Mae'n defnyddio tiwb tantalwm gwag fel y catod, crucible fel yr anod, ac anod ategol ger y tiwb tantalwm. Yn ystod dyddodiad anwedd gan ddefnyddio'r gwn electron catod gwag, mae gan yr ïonau anweddu a gynhyrchir egni uchel a chyfradd ïoneiddiad uchel, gan arwain at -ffilmiau o ansawdd uchel. Mae angen lefel gwactod is ar y gwn electron catod gwag na'r gwn electron math e- ac mae'n gweithredu ar foltedd isel, gan wneud yr offer yn gymharol symlach, yn fwy diogel ac yn llai costus. Ar hyn o bryd, mae e-math a gynnau electron catod gwag wedi'u cymhwyso'n llwyddiannus mewn dyddodiad anwedd ac offer platio ïon yn ein gwlad. Gall y pŵer gwn gyrraedd degau o filoedd o gilowat, ac mae amryw o ffilmiau tenau wedi'u hadneuo ar gyfer diwydiannau megis peiriannau ac electroneg.
Manteision y ffynhonnell anweddu mewn offer cotio gwactod anweddu trawst electron yw:
1) Mae gan ffynhonnell wres peledu trawst electron ddwysedd cerrynt trawst uchel, gan gyflawni dwysedd ynni llawer uwch na ffynonellau gwresogi gwrthiant. Gall anweddu deunyddiau hyd at 3000 gradd Celsius gyda chyfradd anweddiad uchel;
2) Gan fod y deunydd sy'n cael ei anweddu yn cael ei roi mewn crucible wedi'i oeri â dŵr, mae anweddiad deunydd y cynhwysydd ac adweithiau rhwng y deunydd cynhwysydd a'r deunydd anweddu yn cael eu hosgoi, sy'n hanfodol ar gyfer gwella purdeb y cotio;
3) Gellir cymhwyso gwres yn uniongyrchol i wyneb y deunydd anweddu, gan arwain at effeithlonrwydd thermol uchel a cholledion lleiaf posibl trwy ddargludiad gwres ac ymbelydredd.
