Gelwir y swbstrad sydd i'w orchuddio yn swbstrad, a gelwir y deunydd sydd i'w orchuddio yn darged. Mae'r swbstrad a'r targed yn yr un siambr wactod.
Yn gyffredinol, mae gorchudd anweddu yn cynhesu'r targed fel bod y cydrannau arwyneb yn cael eu hanweddu ar ffurf grwpiau atomig neu ïonau. Ac mae'n setlo ar wyneb y swbstrad, ac yn ffurfio ffilm denau trwy'r broses ffurfio ffilm (twf strwythur-haenog strwythur-vagal-vagal-haenog). Ar gyfer cotio sputtering, gellir ei ddeall yn syml fel peledu’r targed gydag electronau neu laserau egni uchel, a sputtering y cydrannau arwyneb ar ffurf grwpiau atomig neu ïonau, ac yn olaf yn adneuo ar wyneb y swbstrad, yn cael y broses ffurfio ffilm, ac yn olaf ffurfio ffilm denau.
