Mae'r peiriant cotio gwactod optegol yn cynnwys system gwactod, system anweddu, system oeri, a system drydanol. Mae'r system gwactod yn cynnwys tanc gwactod a system wacáu. Y tanc gwactod yw prif gorff y peiriant cotio, a chwblheir y broses gorchuddio yn y tanc gwactod. Mae'r tanc gwactod a'r system wacáu wedi'u cysylltu gan falf gysylltu. Er mwyn atal dylanwad moleciwlau aer ar yr ïonau sputtered a gwella ansawdd yr haen ffilm, rhaid gosod y cydrannau optegol a'r ffynhonnell ïon mewn amgylchedd gwactod yn ystod y llawdriniaeth.
Mae'r system wacáu yn bennaf yn cynnwys pwmp mecanyddol, pwmp Roots, a phwmp gwactod, sy'n gyfrifol am ddihysbyddu'r nwy yn y tanc gwactod a ffurfio amgylchedd gwactod yn y tanc. Mae'r system anweddu yn cyfeirio'n bennaf at y ddyfais ffurfio ffilm. Mae yna lawer o fathau o ddyfeisiau ffurfio ffilm yn y peiriant cotio, megis gwresogi gwrthiant, anweddiad gwn electron, sputtering magnetron, sputtering amledd radio, platio ïon, ac ati.
Mae peiriannau cotio gwactod optegol yn cymhwyso ffilmiau tenau i gydrannau optegol trwy chwistrellu gwactod, gan addasu adlewyrchedd a thrawsyriant golau digwyddiad. Er mwyn lleihau colledion adlewyrchiad ar wyneb y gydran a gwella ansawdd y ddelwedd, mae haenau lluosog o ffilmiau tenau yn aml yn cael eu cymhwyso. Ar ôl gorchuddio cydran optegol, mae golau yn adlewyrchu ac yn trosglwyddo sawl gwaith ar wyneb y ffilm amlhaenog, gan ffurfio trawstiau ymyrraeth lluosog. Trwy reoli trwch a mynegai plygiannol yr haenau ffilm, gellir cyflawni dosbarthiadau dwyster amrywiol. Gellir defnyddio'r egwyddor hon i gynhyrchu ffilmiau adlewyrchol polareiddio, ffilmiau hollti lliw, ffilmiau golau oer, a hidlwyr ymyrraeth i ddiwallu anghenion mwy cymhleth.
