Mae offer cotio gwactod anweddiad ymwrthedd yn bennaf yn cynnwys siambr gwactod a system pwmpio gwactod. Mae'r siambr wactod yn cynnwys ffynhonnell anweddu (hy, gwresogydd anweddu), deiliad swbstrad a swbstrad, gwresogydd swbstrad, a system wacáu. Rhoddir y deunydd cotio yn y ffynhonnell anweddu o fewn y siambr gwactod. O dan amodau gwactod uchel, mae'r ffynhonnell anweddu yn gwresogi'r deunydd, gan achosi iddo anweddu. Pan fydd llwybr rhad ac am ddim cymedrig y moleciwlau anwedd yn fwy na dimensiwn llinellol y siambr gwactod, mae atomau a moleciwlau'r anwedd yn dianc o wyneb y ffynhonnell anweddu heb fawr o wrthdrawiadau neu rwystr o moleciwlau neu atomau eraill, gan ganiatáu iddynt gyrraedd wyneb y swbstrad yn uniongyrchol. Oherwydd tymheredd is y swbstrad, mae'r gronynnau anwedd yn cyddwyso arno i ffurfio ffilm.
Er mwyn gwella'r adlyniad rhwng y moleciwlau anwedd a'r swbstrad, gellir actifadu'r swbstrad trwy wresogi priodol neu lanhau ïon. Mae'r prosesau ffisegol sy'n gysylltiedig â gorchuddio anweddiad gwactod, o anweddiad deunydd a chludiant i ddyddodiad ffilm, fel a ganlyn:
(1) Defnyddir gwahanol ddulliau i drosi mathau eraill o ynni yn ynni thermol, gwresogi'r deunydd ffilm i achosi anweddiad neu sychdarthiad, gan arwain at ronynnau nwyol (atomau, moleciwlau, neu grwpiau atomig) gydag egni penodol (0.1 ~ 0.3 eV);
(2) Mae'r gronynnau nwyol yn gadael wyneb y ffilm ac yn cael eu cludo i wyneb y swbstrad mewn llinell gymharol syth heb fawr o wrthdrawiadau ar gyflymder sylweddol;
(3) Mae'r gronynnau nwyol sy'n cyrraedd wyneb y swbstrad yn cyddwyso ac yn cnewyllol, gan dyfu'n ffilm denau cyfnod solet;
(4) Mae'r atomau sy'n ffurfio'r ffilm denau yn aildrefnu neu'n ffurfio bondiau cemegol.
Anweddiad gwresogi gwrthiant yw'r dull gwresogi symlaf a mwyaf cyffredin, sy'n addas yn gyffredinol ar gyfer deunyddiau cotio gyda phwyntiau toddi o dan 1500 gradd. Yn nodweddiadol, mae metel pwynt toddi uchel (W, Mo, Ti, Ta, boron nitrid, ac ati) ar ffurf gwifren neu ddalen yn cael ei wneud yn ffynhonnell anweddu o siâp priodol, y mae'r deunydd cotio yn cael ei lwytho arno. Mae gwresogi Joule y cerrynt yn toddi, yn anweddu, neu'n sublimates y deunydd cotio. Mae siapiau'r ffynhonnell anweddiad yn bennaf yn cynnwys troellog aml-haen, siâp U, tonffurf sinwsoidaidd, plât tenau, siâp cwch, a siâp basged gonigol.
Ar yr un pryd, mae'r dull hwn yn ei gwneud yn ofynnol i'r deunydd ffynhonnell anweddu fod â nodweddion megis pwynt toddi uchel, pwysedd anwedd dirlawn isel, priodweddau cemegol sefydlog (peidio ag adweithio'n gemegol â'r deunydd cotio ar dymheredd uchel), ymwrthedd gwres da, ac amrywiad dwysedd pŵer bach. Defnyddir cerrynt mawr i basio trwy'r ffynhonnell anweddu i gynhesu ac anweddu'r deunydd cotio yn uniongyrchol, neu rhoddir y deunydd cotio mewn crucible wedi'i wneud o graffit neu rai ocsidau metel sy'n gwrthsefyll tymheredd uchel (fel Al₂O₂, BO) ar gyfer gwresogi ac anweddu anuniongyrchol.
Offer araen gwactod anweddiad ymwrtheddmae ganddo gyfyngiadau o ran dyddodi ffilmiau. Mae gan fetelau anhydrin bwysau anwedd isel, gan eu gwneud yn anodd ffurfio ffilmiau tenau; mae rhai elfennau'n ffurfio aloion yn hawdd gyda'r wifren wresogi; ac mae'n anodd cael ffilmiau aloi gyda chyfansoddiad unffurf. Fodd bynnag, mae anweddiad gwresogi gwrthiant yn ddull anweddu a ddefnyddir yn eang oherwydd ei strwythur syml, cost isel, a rhwyddineb gweithredu.
