Mae offer sputtering magnetron yn chwarae rhan allweddol mewn llawer o feysydd fel triniaeth wyneb materol a pharatoi ffilm. Mae cynnal a chadw dyddiol yn hanfodol i sicrhau gweithrediad sefydlog yr offer, ymestyn ei oes gwasanaeth a sicrhau ansawdd y ffilm sputtered. Bydd y canlynol yn ymhelaethu ar bwyntiau allweddol cynnal a chadw offer sputtering magnetron yn ddyddiol.
Cynnal a Chadw System Gwactod
1. Cynnal a chadw pwmp gwactod: Y pwmp gwactod yw cydran graidd system wactod yr offer sputtering magnetron. Gwiriwch lefel olew y pwmp gwactod yn rheolaidd i sicrhau bod y lefel olew o fewn yr ystod arferol. Ar ôl ei ddefnyddio yn y tymor hir, bydd perfformiad yr olew pwmp gwactod yn dirywio oherwydd arsugniad amhureddau a lleithder. Yn gyffredinol, mae angen disodli'r olew pwmp gwactod bob cyfnod gweithredu penodol (er enghraifft, 2000 awr). Ar yr un pryd, rhowch sylw i wirio tyndra'r gwregys pwmp gwactod. Bydd gwregys rhy rhydd yn achosi i gyflymder y pwmp gwactod fod yn ansefydlog ac yn effeithio ar effeithlonrwydd gwacáu; Gall rhy dynn gyflymu gwisgo'r gwregys. Os yw'r gwregys yn dangos arwyddion o wisgo neu heneiddio, dylid ei ddisodli mewn pryd.
2. Glanhau Pibell Gwactod: Y bibell wactod yw'r sianel sy'n cysylltu'r pwmp gwactod a'r siambr sputtering, sy'n hawdd ei hamsugno llwch, amhureddau a gronynnau a gynhyrchir yn ystod y broses sputtering. Defnyddiwch offeryn glanhau pibellau gwactod pwrpasol yn rheolaidd i lanhau y tu mewn i'r bibell i gael gwared ar amhureddau ynghlwm. Ar gyfer rhannau sy'n anodd eu glanhau, gellir defnyddio glanhau nwy, ond rhaid sicrhau glendid y nwy glanhau. Yn ogystal, gwiriwch dyndra'r bibell i weld a oes unrhyw ollyngiadau. Gall gollyngiad bach beri i'r radd gwactod fethu â chyrraedd y wladwriaeth ddelfrydol, gan effeithio ar yr effaith sputtering. Gellir defnyddio synhwyrydd gollwng sbectromedr màs heliwm i ganfod gollyngiadau yn y bibell, a gellir atgyweirio gollyngiadau mewn pryd.
3. Graddnodi Mesur Gwactod: Defnyddir y mesurydd gwactod i fesur gradd gwactod y system wactod, ac mae ei gywirdeb mesur yn uniongyrchol gysylltiedig â barn y gweithredwr o statws gweithredu'r offer. Graddnodi'r mesurydd gwactod yn rheolaidd, ac argymhellir yn gyffredinol ei raddnodi unwaith bob chwe mis neu flwyddyn. Rhaid cyflawni'r broses raddnodi yn unol â'r llawlyfr gweithredu a ddarperir gan y gwneuthurwr offer, a rhaid defnyddio offer graddnodi safonol i sicrhau bod y data gradd gwactod a fesurir gan y mesurydd gwactod yn gywir ac yn ddibynadwy.
Cynnal a chadw targed sputtering
1. Glanhau arwyneb targed: Yn ystod y broses sputtering, bydd cynhyrchion sputtering ac amhureddau yn adneuo'n raddol ar yr arwyneb targed, gan effeithio ar y gyfradd sputtering ac ansawdd ffilm. Ar ôl pob defnydd o'r offer, dylid glanhau'r arwyneb targed mewn pryd. Ar gyfer targedau metel, gellir defnyddio brwsh glanhau targed arbennig i frwsio'r dyddodion wyneb yn ysgafn; Ar gyfer rhai targedau mwy sensitif, fel targedau cerameg, mae angen dull glanhau mwy ysgafn, fel sychu'n ysgafn gyda lliain meddal glân wedi'i drochi mewn swm priodol o asiant glanhau arbennig. Ceisiwch osgoi defnyddio offer miniog i grafu wyneb y targed er mwyn osgoi niweidio'r targed.
2. Arolygu Gosod Targed: Gwiriwch osod y targed yn rheolaidd i sicrhau bod y targed wedi'i osod yn gadarn. Bydd y targed yn cael ei beledu gan ïonau cyflym yn ystod y broses sputtering. Os na chaiff ei osod yn gadarn, gall beri i'r targed ysgwyd neu hyd yn oed ddisgyn, a fydd nid yn unig yn effeithio ar yr effaith sputtering, ond hefyd yn niweidio'r offer. Gwiriwch a yw'r cysylltiad rhwng y targed a'r cyflenwad pŵer sputtering yn dda. Gall looseness y cysylltiad achosi i'r broses sputtering fod yn ansefydlog ac achosi ffenomenau annormal fel gwreichionen. Os canfyddir bod y cysylltiad yn rhydd, dylid tynhau'r bolltau cysylltu mewn pryd.
3. Monitro Bywyd Gwasanaeth Targed: Mae gan wahanol fathau o ddeunyddiau targed eu bywyd gwasanaeth penodol. Rhowch sylw manwl i amser sputtering ac effaith sputtering y targed. Pan fydd cyfradd sputtering y targed yn gostwng yn sylweddol ac mae ansawdd y ffilm yn amrywio, gall olygu bod y targed yn agos at ei oes gwasanaeth. Amnewid y deunydd targed mewn pryd i sicrhau sefydlogrwydd y broses sputtering a chysondeb ansawdd y ffilm. Ar yr un pryd, cofnodwch yr amser defnydd a pharamedrau cysylltiedig y deunydd targed i ddarparu sylfaen ar gyfer amnewid deunydd targed dilynol a gwerthuso perfformiad.
Cynnal a chadw system drydanol
1. Archwiliad Cyflenwad Pwer: Mae cyflenwad pŵer yr offer sputtering magnetron yn darparu egni ar gyfer y broses sputtering, ac mae ei sefydlogrwydd yn hanfodol. Gwiriwch yn rheolaidd a yw foltedd allbwn a cherrynt y cyflenwad pŵer o fewn yr ystod arferol. Gallwch ddefnyddio offerynnau mesur trydanol proffesiynol i ganfod y cyflenwad pŵer i wirio a yw'r paramedrau allbwn yn gyson â'r gwerthoedd gosod offer. Os canfyddir bod y foltedd allbwn neu'r cerrynt yn amrywio'n annormal, dylid ymchwilio i'r achos yn brydlon. Gall fod yn fai yng nghydrannau mewnol y cyflenwad pŵer neu broblem gyda'r cysylltiad llinell. Yn ogystal, gwiriwch afradu gwres y cyflenwad pŵer i sicrhau y gall y cyflenwad pŵer afradu gwres fel arfer yn ystod y llawdriniaeth. Bydd y cyflenwad pŵer yn cynhyrchu llawer o wres wrth weithio am amser hir. Os yw'r afradu gwres yn wael, gallai achosi niwed i'r cydrannau. Glanhewch y llwch ar y rheiddiadur cyflenwad pŵer i sicrhau bod y gefnogwr oeri yn rhedeg yn normal.
2. Cynnal a Chadw Cylchdaith Drydanol: Gwiriwch a yw'r gylched drydanol y tu mewn i'r offer yn heneiddio neu'n cael ei difrodi. Ar ôl ei ddefnyddio yn y tymor hir, gall y gylched drydanol gael problemau fel heneiddio'r haen inswleiddio a difrod y wifren, a fydd yn dod â pheryglon diogelwch ac yn effeithio ar weithrediad arferol yr offer. Ar gyfer cylchedau sy'n heneiddio neu wedi'u difrodi a ddarganfuwyd, dylid eu disodli mewn pryd. Ar yr un pryd, gwnewch yn siŵr bod y cysylltiad llinell yn gadarn i osgoi looseness gan achosi cyswllt gwael. Gall pwyntiau cysylltu rhydd gynhyrchu gwreichion yn ystod gweithrediad yr offer, difrodi cydrannau offer neu hyd yn oed achosi tân. Tynhau sgriwiau'r pwyntiau cysylltu llinell yn rheolaidd a gwiriwch y cyswllt rhwng y plwg a'r soced.
3. Cynnal a Chadw System Rheoli: Mae system reoli'r offer yn gyfrifol am fonitro ac addasu paramedrau amrywiol y broses sputtering. Wrth gefn y data yn y system reoli yn rheolaidd i atal colli data. Ar yr un pryd, gwiriwch a oes awgrymiadau diweddaru ar gyfer meddalwedd y system reoli. Gall diweddariadau meddalwedd amserol drwsio gwendidau hysbys a gwella sefydlogrwydd a swyddogaeth y system. Yn ogystal, glanhewch ryngwyneb gweithredu'r system reoli i sicrhau bod y botymau a'r sgrin arddangos yn gweithio'n iawn, a gall y gweithredwr fewnbynnu paramedrau yn gywir a chael gwybodaeth am weithredu offer.
Cynnal a Chadw System Oeri
1. Archwiliad Oerydd: Defnyddir y system oeri i leihau'r gwres a gynhyrchir gan yr offer yn ystod y llawdriniaeth. Yr oerydd yw cyfrwng allweddol y system oeri. Gwiriwch lefel yr oerydd yn rheolaidd i sicrhau bod y lefel o fewn yr ystod arferol. Bydd lefel yr oerydd yn gostwng oherwydd anweddiad, gollyngiadau, ac ati yn ystod defnydd tymor hir. Bydd lefel rhy isel yn effeithio ar yr effaith oeri. Ar yr un pryd, gwiriwch ansawdd yr oerydd ac arsylwch a yw'r oerydd yn lliwio, yn gymylog neu ac mae ganddo arogl. Os bydd yr oerydd yn dirywio, dylid ei ddisodli mewn pryd. Yn gyffredinol, argymhellir disodli'r oerydd bob 1-2 flynedd. Gellir pennu'r cylch amnewid penodol yn ôl y defnydd o'r offer ac argymhellion y gwneuthurwr.
2. Cynnal a chadw pibellau oeri: Gwiriwch a yw'r bibell oeri wedi'i blocio. Efallai y bydd y tu mewn i'r bibell oeri yn cael ei rwystro oherwydd cronni graddfa, amhureddau, ac ati, gan effeithio ar lif arferol yr oerydd. Gellir glanhau'r bibell trwy lanhau cemegol neu lanhau corfforol. Gall glanhau cemegol ddefnyddio asiant glanhau pibellau arbennig, ond rhowch sylw i grynodiad yr asiant glanhau a'r amser glanhau er mwyn osgoi cyrydiad i'r bibell. Gellir glanhau corfforol trwy fflysio gwn dŵr pwysedd uchel a dulliau eraill. Yn ogystal, gwiriwch selio'r bibell oeri i atal oerydd rhag gollwng. Os canfyddir gollyngiad yn y bibell, dylid atgyweirio'r rhannau pibell sydd wedi'u difrodi neu eu disodli mewn pryd.
3. Arolygu Offer Oeri: Gwiriwch y pwmp dŵr, y rheiddiadur ac offer arall yn y system oeri. Sicrhewch fod y pwmp dŵr yn gweithredu'n normal. Gall impeller y pwmp dŵr effeithio ar y capasiti pwmpio oherwydd ei wisgo. Os canfyddir bod y pwmp dŵr yn pwmpio'n annormal, dylid atgyweirio'r pwmp dŵr neu ei ddisodli mewn pryd. Gwiriwch a yw esgyll sinc gwres y rheiddiadur yn cael eu blocio, glanhewch y llwch a'r malurion ar yr esgyll sinc gwres, a sicrhau y gall y rheiddiadur afradu gwres yn effeithiol. Ar yr un pryd, gwiriwch weithrediad y gefnogwr oeri i sicrhau y gall y gefnogwr ddarparu aer oeri ar gyfer y rheiddiadur fel arfer.
Glanhau offer a chynnal a chadw amgylcheddol
1. Glanhau Arwyneb Offer: Glanhewch wyneb yr offer sputtering magnetron yn rheolaidd i gael gwared ar lwch, olew a llygryddion eraill. Gallwch ddefnyddio lliain meddal glân i dipio mewn swm priodol o lanedydd a sychu'n ysgafn wyneb yr offer. Ar gyfer rhai staeniau ystyfnig, gallwch ddefnyddio glanhawr offer arbennig, ond byddwch yn ofalus i osgoi'r glanedydd rhag mynd i mewn i du mewn yr offer. Ar ôl glanhau, sychwch wyneb yr offer gyda lliain glân i gadw ymddangosiad yr offer yn lân.
2. Amgylchedd gwaith glân: Mae amgylchedd gwaith yr offer hefyd yn cael effaith bwysig ar ei berfformiad a'i fywyd. Cadwch yr amgylchedd gwaith yn lân, glanhewch y llwch ar y ddaear yn rheolaidd, ac osgoi gormod o lwch rhag dod i mewn i'r offer. Rheoli tymheredd a lleithder yr amgylchedd gwaith. Yn gyffredinol, mae offer sputtering magnetron yn addas ar gyfer gweithio mewn amgylchedd sydd â thymheredd o 20-25 a lleithder cymharol o 40%-60%. Gellir gosod offer aerdymheru a dadleiddio i addasu'r tymheredd a'r lleithder amgylchynol. Yn ogystal, sicrhau bod yr amgylchedd gwaith wedi'i awyru'n dda i atal cronni gwres a nwy gwacáu a gynhyrchir yn ystod gweithrediad yr offer.
Yn fyr, mae cynnal a chadw offer sputtering magnetron yn ddyddiol yn cynnwys sawl agwedd fel system wactod, targed sputtering, system drydanol, system oeri, glanhau offer a chynnal a chadw amgylcheddol. Dylai gweithredwyr ddilyn llawlyfr cynnal a chadw'r gwneuthurwr offer yn llym ar gyfer cynnal a chadw rheolaidd, darganfod a datrys problemau posibl yn brydlon, er mwyn sicrhau gweithrediad sefydlog yr offer, gwella oes gwasanaeth yr offer, a thrwy hynny wella ansawdd ac effeithlonrwydd cynhyrchu'r ffilm sputtered.
