Mae llif gwaith peiriant cotio optegol fel arfer yn cynnwys y prif gamau canlynol: pretreatment, cotio, monitro ffilm ac addasu, oeri a symud. Gall y broses benodol amrywio yn dibynnu ar y math o offer (megis peiriant cotio anweddu, peiriant cotio sputtering, ac ati) a'r broses cotio (megis ffilm un haen, ffilm aml-haen, ac ati), ond yn gyffredinol, mae'r broses o orchuddio optegol fel a ganlyn:
1. Cam paratoi
Glanhau a pharatoi cydrannau optegol:
Cyn cotio, mae angen glanhau cydrannau optegol (fel lensys, hidlwyr, gwydr optegol, ac ati) yn drylwyr. Y cam hwn yw'r sylfaen ar gyfer sicrhau ansawdd y cotio. Mae dulliau glanhau cyffredin yn cynnwys glanhau ultrasonic, glanhau asid, glanhau stêm, ac ati.
Mae cydrannau optegol wedi'u glanhau fel arfer yn cael eu gosod ar ddyfais gylchdroi neu system glampio'r peiriant cotio i sicrhau y gallant aros yn sefydlog yn ystod y broses cotio.
Pretreatment y siambr wactod:
Cyn gosod y cydrannau optegol yn y peiriant cotio, mae angen symud y siambr cotio i radd benodol o wactod. Gall yr amgylchedd gwactod gael gwared ar amhureddau, ocsigen ac anwedd dŵr yn yr awyr yn effeithiol, eu hatal rhag ymateb gyda'r deunydd cotio, a sicrhau purdeb ac ansawdd y ffilm.
Fel arfer, mae angen i'r siambr cotio gyrraedd gwactod uchel (10⁻⁵ i 10⁻⁶ PA) neu wactod canolig (10⁻³ i 10⁻⁴ PA).
2. Proses Gorchuddio
Dechreuwch ffynhonnell cotio:
Mae'r ffynhonnell cotio fel arfer yn mabwysiadu ffynhonnell anweddu neu ffynhonnell sputtering. Dewisir gwahanol ffynonellau cotio yn unol â gwahanol brosesau a deunyddiau cotio.
Ffynhonnell anweddu: Defnyddiwch offer gwresogi (fel anweddydd trawst electron neu anweddydd gwresogi gwrthiant) i gynhesu'r deunydd cotio i'r cyflwr anweddu, fel bod ei foleciwlau neu atomau yn anweddu ac yn adneuo ar wyneb yr elfen optegol mewn gwactod.
Ffynhonnell sputtering: Trwy gymhwyso foltedd uchel i wneud i'r deunydd targed wrthdaro ag ïonau, atomau neu foleciwlau'r deunydd targed yn cael eu sputtered allan, ac mae'r atomau neu'r moleciwlau hyn yn cael eu dyddodi ar wyneb yr elfen optegol i ffurfio ffilm denau.
Dyddodiad Deunydd Ffilm Tenau:
Mewn amgylchedd gwactod, mae'r deunydd cotio yn anweddu neu'n poeri o'r ffynhonnell (megis ffynhonnell anweddu neu ddeunydd targed) ac yn graddio'n raddol ar wyneb yr elfen optegol.
Mae angen rheoli'n fanwl gyfradd dyddodi a thrwch ffilm i sicrhau bod yr haen ffilm yn unffurf, yn barhaus, ac yn cwrdd â'r gofynion dylunio. Bydd paramedrau yn ystod y broses ddyddodi (megis cerrynt, llif nwy, tymheredd, ac ati) yn effeithio'n uniongyrchol ar ansawdd y ffilm.
Monitro Ffilm Tenau a Rheoli Trwch:
Yn ystod y broses cotio, mae trwch ac ansawdd y ffilm fel arfer yn cael eu monitro mewn amser real. Mae offer monitro a ddefnyddir yn gyffredin yn cynnwys synwyryddion fel ** Quartz Crystal Microbalance (QCM) **, a all ganfod cyfradd ddyddodi a thrwch y ffilm yn gywir.
Yn seiliedig ar y data monitro hyn, gall y system addasu paramedrau yn awtomatig megis pŵer y ffynhonnell cotio, llif nwy, neu gyflymder cylchdroi'r gydran i gynnal cysondeb ac unffurfiaeth haen y ffilm.
Ffilm Multilayer (os oes angen):
Ar gyfer cydrannau optegol sy'n gofyn am strwythur ffilm amlhaenog, mae'r broses cotio fel arfer yn cael ei chyflawni fesul haen. Ar ôl i bob haen o ffilm gael ei hadneuo, bydd y system yn perfformio canfod ac addasu trwch ffilm dro ar ôl tro i sicrhau bod ansawdd pob haen yn cwrdd â'r gofynion dylunio.
Mae'r broses hon yn gofyn am reolaeth fanwl gywir ar drwch a deunydd pob haen i sicrhau y gall pob haen weithredu o fewn ystod tonfedd benodol, megis myfyrio, trosglwyddo neu ymyrraeth.
3. Oeri a symud
Oeri:
Ar ôl cotio, mae angen oeri'r cydrannau optegol a'r peiriant cotio. Gan y gall yr offer a'r cydrannau fynd yn boeth yn ystod y broses cotio, mae angen eu hoeri i lawr i dymheredd yr ystafell trwy system oeri (fel dŵr oeri neu lif aer) i atal difrod thermol.
Mewn rhai prosesau cotio tymheredd uchel, mae oeri nid yn unig yn amddiffyn y cydrannau optegol, ond hefyd yn galluogi'r ffilm i gyflawni'r adlyniad a'r sefydlogrwydd gorau posibl.
Dileu'r cydrannau optegol:
Ar ôl oeri, gellir tynnu'r cydrannau optegol o'r peiriant cotio.
Cyn ei dynnu, mae angen gwirio'r effaith cotio, gan gynnwys unffurfiaeth, trwch, adlyniad, ac ati yr haen ffilm i sicrhau bod ansawdd y cotio yn cwrdd â'r gofynion.
4. Ôl-driniaeth (dewisol)
Caledu Ffilm:
Weithiau mae angen caledu’r ffilm ar ôl cotio i wella gwrthiant crafu a gwydnwch y ffilm. Gwneir hyn fel arfer trwy drin gwres neu arbelydru uwchfioled.
Glanhau Ffilm:
Er mwyn cael gwared ar lygryddion, saim neu amhureddau eraill ar wyneb y ffilm, efallai y bydd angen glanhau bach, megis golchi, triniaeth ultrasonic, ac ati.
5. Arolygu a phrofi ansawdd
Prawf Perfformiad Optegol: Ar ôl cotio, perfformir cyfres o brofion perfformiad ar y cydrannau optegol, gan gynnwys trawsyriant, adlewyrchiad, unffurfiaeth ffilm, ac ati, i sicrhau eu bod yn cwrdd â'r gofynion technegol.
Prawf adlyniad: Gwiriwch a yw'r adlyniad rhwng y ffilm a'r swbstrad yn gadarn trwy brawf tâp neu brawf crafu.
Prawf Sefydlogrwydd Amgylcheddol: Weithiau mae angen profion sefydlogrwydd o dan amodau amgylcheddol fel tymheredd, lleithder a phelydrau uwchfioled i sicrhau dibynadwyedd yr haen cotio mewn cymwysiadau gwirioneddol.
