1. Amledd radio (RF) – y ffynhonnell ynni ar gyfer PECVD
Yn syml, amledd radio (RF) yw grym gyrru PECVD; mae'n penderfynu a ellir cynhyrchu plasma, pa mor gryf yw'r genhedlaeth, a pha mor uchel yw'r effeithlonrwydd dyddodi.
2. Rhyddhau glow-y "mynegiant" plasma
Mae rhyddhau glow yn ffenomen golau gweladwy sy'n digwydd yn naturiol ar ôl i plasma gael ei gyffroi.
Pan fydd nwy yn cael ei ïoneiddio i mewn i blasma gan faes trydan amledd radio, bydd yr electronau y tu mewn yn neidio'n barhaus rhwng lefelau egni uchel ac isel. Mae'r broses hon yn rhyddhau ffotonau. Pan fydd nifer fawr o ffotonau yn cyfuno â'i gilydd, maent yn ffurfio'r golau a welwn trwy'r ffenestr arsylwi, a elwir yn glow.
Nid yw'r llewyrch yn addurn nac yn sgil-gynnyrch; mae'n adlewyrchu'n uniongyrchol gyflwr gwirioneddol y plasma.
Bydd gwahanol nwyon, paramedrau, ac amodau siambr yn arwain at amrywiadau yn lliw, disgleirdeb ac unffurfiaeth y glow plasma. Mae llewyrch sefydlog yn dynodi plasma iach, tra bod fflachio neu llewyrch annormal yn dynodi problem gyda'r offer neu'r broses.
Yn fyr, rhyddhau glow yw mynegiant ac iaith plasma, y mae peirianwyr yn ei ddefnyddio i farnu a yw'r offer yn iach ac a yw'r broses yn sefydlog.
Gall glow fod o liwiau gwahanol.
Mae lliw glow yn amrywio yn dibynnu ar y nwy.
Neon (Ne): Yn allyrru golau coch clasurol-oren (golau neon)
Argon (Ar): yn allyrru golau glasaidd-fioled.
Nitrogen (N2): yn allyrru golau porffor pinc.
Ocsigen (O2): yn allyrru golau melyn neu wyn golau.
Anwedd sodiwm (Na): yn allyrru golau melyn llachar iawn.
2. Perthynas rhwng amledd radio a rhyddhau glow
Nid yw amledd radio a rhyddhau glow yn ddau beth annibynnol, ond yn hytrach mae ganddynt berthynas achosol, perthynas symbiotig, a pherthynas fonitro.
Mae amledd radio yn darparu egni ac mae'n achos ffurfio plasma.
Mae gollyngiad glow yn cyd-fynd ag ymddangosiad plasma ac mae'n amlygiad allanol o blasma.
Heb amledd radio, nid oes plasma, ac felly dim llewyrch.
Mae absenoldeb llewyrch sefydlog ac unffurf yn dynodi trosglwyddiad ynni amledd radio gwael, dosbarthiad maes trydan anwastad, a chyflwr siambr annormal.
3. Y crynodeb symlaf
Amledd radio (RF) yw craidd ynni PECVD, sy'n gyfrifol am gynhyrchu a rheoli plasma.
Mae rhyddhau glow yn fynegiant cyflwr plasma ac mae'n gyfrifol am adlewyrchu a yw'r broses yn sefydlog.
Os yw'r amledd radio yn sefydlog, bydd y gollyngiad glow yn sefydlog.
Mae rhyddhau glow sefydlog yn sicrhau ansawdd ffilm sefydlog.
